工業(yè)凈化車(chē)間的發(fā)展

工業(yè)凈化車(chē)間(ICR，ndustrial Clean Room) 以空氣中的懸浮顆粒物為主要控制對象，主要為精密機械和電子產(chǎn)品等行業(yè)提供符合要求的生產(chǎn)環(huán)境。

與其他高科技-樣，凈化車(chē)間潔凈技術(shù)的誕生及最初應用是服務(wù)于軍事目的的。第二次世界大戰中一些槍炮、戰車(chē)、飛機等使用的儀器合格率低或經(jīng)常發(fā)生故障。研制者認識到，儀器生產(chǎn)與裝配環(huán)境空氣中的懸浮顆粒物是罪魁禍首，于是工業(yè)凈化車(chē)間誕生了。最初的工業(yè)凈化車(chē)間是比較簡(jiǎn)陋的，隨著(zhù)原子武器研究和生化武器研究的發(fā)展，在20 世紀40 年代初高效空氣過(guò)濾器研制成功并得到應用，20世紀60年代初又出現了“單向流”凈化車(chē)間，這些設備與技術(shù)的誕生成為清凈技術(shù)發(fā)展的里程碑，奠定了現代潔凈技術(shù)的基礎。

微電子行業(yè)是現代工業(yè)凈化車(chē)間應用的代表。主要產(chǎn)品是大規模集成電路和平板顯示器。半個(gè)多世紀以來(lái)，集成電路得到迅猛發(fā)展，表1-1是對其集成度發(fā)展趨勢的預測。

集成電路集成度發(fā)展趨勢預測：

從表1-1中可以看到，隨著(zhù)集成度的增加，元件中的線(xiàn)寬不斷縮小，因此對空氣中縣浮顆料物的控制粒徑也越來(lái)越小，一般認為控制粒徑應當是線(xiàn)寬的1/10~1/3，但從表1-1看，由于線(xiàn)寬越來(lái)越小，這一要求也難以達到了。微電子產(chǎn)品的迅速發(fā)展對傳統的潔凈技術(shù)提出了極大的挑戰，同時(shí)也促進(jìn)了現代潔凈技術(shù)的發(fā)展。

現代工業(yè)凈化車(chē)間雖然仍以懸浮顆粒物為主要控制對象，但在某些T藝過(guò)程對空氣中分子態(tài)污染物( AMC,Airbome Molecular Contaninants) 也提出了控制要求。因此，空氣凈化技術(shù)的關(guān)鍵設備也從單一的粒子過(guò)濾器發(fā)展到可以吸附有害氣態(tài)物質(zhì)的化學(xué)過(guò)濾器。

生物潔凈室的發(fā)展

生物潔凈室( BCR,Biological Clean Room) 以空氣中的微生物為主要控制對象，但同時(shí)也對懸浮顆粒物提出控制指標。

生物潔凈室與工業(yè)潔凈室在基本技術(shù)上是一致的，它實(shí)際是先期發(fā)展起來(lái)的工業(yè)潔凈室技術(shù)在生物凈化領(lǐng)域的具休應用。19 世紀中期，英法科學(xué)家和醫學(xué)家針對手術(shù)過(guò)程中的細菌感染采取了對創(chuàng )部、處置室、手術(shù)室、室內人員、著(zhù)裝、器械等進(jìn)行消毒的措施，并將經(jīng)過(guò)消毒的室內空間稱(chēng)為潔凈室(CR，Clean Room)，該名詞沿用至今，當然其內涵已經(jīng)有了很大發(fā)展。20世紀60 年代初，美國工業(yè)潔凈室的發(fā)展進(jìn)入全盛時(shí)期，人們通過(guò)測試發(fā)現在T 業(yè)潔凈室的空氣中微生物含量同樣遠低于外界，于是開(kāi)始嘗試利用工業(yè)潔凈室進(jìn)行一些要求無(wú)菌環(huán)境的試驗，最早的例子是在一間工業(yè)潔凈室中對進(jìn)人太空的狗進(jìn)行的解剖實(shí)驗。細菌、病毒是依附于空氣中的液滴或灰塵并以此作為生存和傳播媒介的，控制了空氣中的顆粒物也就控制了空氣中的微生物。1966 年在美國新墨西哥州建成世界上第一個(gè)“層流式”潔凈手術(shù)室，這是BCR 技術(shù)用于醫療事業(yè)的最早實(shí)例。歐洲大陸最早的“層流式”潔凈手術(shù)室于1969 年建在奧地利的急救醫院。日本在1970 年建立了第一個(gè)高級別的“層流式”潔凈手術(shù)室。

從20 世紀70 年代開(kāi)始，以美國為首的技術(shù)先進(jìn)國家大規模地將工業(yè)潔凈室技術(shù)引入防止以空氣作為傳播媒介的微生物污染控制領(lǐng)域，誕生了現代意義上的生物潔凈室。

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